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PFEIFFER真空泵檢漏儀

產品時間：2023-05-11

簡要描述：

Pfeiffer 分流式渦輪分子泵, 抽速最高 53 l/s 和在中間抽吸裝置上抽速 0.15 l/s (N2), 可取代多款渦輪分子泵, 獨立機械和真空結構設計, 特別適合分析研發行業.

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產品介紹：

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范圍在 1400-2800l/s 的磁懸浮渦輪分子泵. ATH 系列磁懸浮分子泵擁有5軸磁軸承監測系統和實時的轉子位移自動修正功能確保長時間的穩定性和可靠性, 同時運行時也非常安靜. 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 系列廣泛應用于半導體, 鍍膜和離子刻蝕等行業.

Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 優點

1. 清潔無油, 大抽速

2. 免維護低成本保養費

3. 渦輪分子泵極低的噪音和震動

4. 可任意角度安裝

Pfeiffer 普發渦輪分子泵 SplitFlow 優點

緊湊設計, 占地空間小

對所有氣體的高抽吸能力和更高壓縮比

集成分子泵控制器

防護類型 IP 54 適合于工業用途

準 S2 和 UL/CSA 認證

運行數據監控保證分子泵運行安全性

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