美國BROOKS氣體質量流量計

BROOKS流量計 GF40 系列，采用橡膠密封，使用布魯克斯儀器MultiFlo 技術的 GF40 系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器非常適用于那些使用多種氣體、需要頻繁切換氣體類型或是需要在保證氣體測量和控制準確性的同時重新設定測量范圍的系統、工藝和設施。BROOKS流量控制器流量范圍-滿量程容量：3 sccm - 50 slpm，精度：1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%，控制范圍 2-100%。非常適用于各種氣體，多協議通信選件包括 DeviceNet、EtherCAT、Profibus 和 RS-485 模擬接口，多協議通信接口可集成至現有系統。大量應用在：太陽能電池化學氣相沉積，非常適用于管匯系統/氣體輸送系統，真空處理，等離子體、玻璃和卷繞鍍膜系統，生命科學實驗室，納米技術/MEMS 制造。

一般來說，布魯克斯質量流量計主要分為熱式質量流量計、差壓式質量流量計和科里奧利質量流量計。不同種類的質量流量計其工作原理也不一樣。